Особенность-ориентированное позиционирование

Особенность-ориентированное позиционирование (ООП, англ. FOP — feature-oriented positioning) — способ прецизионного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности, при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве опорных точек. В ходе ООП зонд перемещается из начальной точки A поверхности (окрестности начальной особенности) в конечную точку B (окрестность конечной особенности) вдоль некоторого маршрута, проходящего через промежуточные особенности поверхности. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное позиционирование.

Различают ООП “вслепую”, когда координаты особенностей, по которым производится перемещение зонда, заранее неизвестны и ООП по готовой “карте” особенностей, когда относительные координаты всех особенностей известны, например, были получены в ходе предварительного особенность-ориентированного сканирования (ООС). Разновидностью указанных способов является перемещение зонда по навигационной структуре.

Метод ООП может использоваться в нанопроизводстве “снизу вверх” для прецизионного перемещения зонда нанолитографа/наноассемблера по поверхности подложки. Причём, ООП, однажды выполненное по некоторому маршруту, затем может быть точно воспроизведено необходимое число раз. После перемещения в заданную позицию выполняется воздействие на поверхность или манипуляция объектом поверхности (наночастицей, молекулой, атомом). Все операции осуществляются в автоматическом режиме. При наличии грубого позиционера шагающего типа метод ООП обеспечивает прецизионное перемещение зонда по поверхности на неограниченное расстояние. В многозондовых инструментах ООП подход позволяет последовательно применить к особенности/объекту поверхности или к заданной точке окрестности особенности/объекта любое число специализированных технологических и/или аналитических зондов. Указанная возможность открывает перспективу построения сложного нанопроизводства, состоящего из большого числа технологических, измерительных и контрольных операций.

См. также

• Особенность-ориентированное сканирование

Литература

1. R. V. Lapshin. Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology (англ.) // Nanotechnology : journal. — UK: IOP, 2004. — Vol. 15, no. 9. — P. 1135—1151. — ISSN 0957-4484. — doi:10.1088/0957-4484/15/9/006.

2. R. V. Lapshin. Feature-oriented scanning probe microscopy // Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (англ.) / H. S. Nalwa. — USA: American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105—115. — ISBN 1-58883-163-9.

3. Р. Лапшин. Особенность-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии “снизу-вверх” (рус.) // Электроника: Наука, Технология, Бизнес : журнал. — Российская Федерация: Техносфера, 2014. — № Спецвыпуск “50 лет НИИФП”. — С. 94—106. — ISSN 1992-4178.

4. D. W. Pohl, R. Möller. “Tracking” tunneling microscopy (англ.) // Review of Scientific Instruments : journal. — USA: AIP Publishing, 1988. — Vol. 59, no. 6. — P. 840—842. — ISSN 0034-6748. — doi:10.1063/1.1139790.

5. B. S. Swartzentruber. Direct measurement of surface diffusion using atom-tracking scanning tunneling microscopy (англ.) // Physical Review Letters : journal. — USA: American Physical Society, 1996. — Vol. 76, no. 3. — P. 459—462. — ISSN 0031-9007. — doi:10.1103/PhysRevLett.76.459.

Ссылки

• Feature-oriented positioning Архивная копия от 5 октября 2013 на Wayback Machine, Research section, Lapshin's Personal Page on SPM & Nanotechnology